SF6气体的回收和处理主要包括以下几个步骤：

　　1. 气体回收：当SF6气体从设备中抽出时，它会自动流经净化过滤器，通过SF6压缩机进行压缩和冷却，可以以气态形式储存，或者在一定高压下以液态形式储存在SF6贮罐中。

　　2. 真空处理：在回收过程中，会对装置本身、SF6开关及GIS设备进行抽真空处理，以确保设备内部的洁净和干燥。

　　3. 净化干燥：通过净化干燥系统去除气体中的水分、杂质和分解产物，使其达到重新使用的标准。

　　4. 充气：经过处理后的SF6气体可以再次充入电气设备中，但在充气前需要对设备进行抽真空处理，以确保气体的纯度和绝缘性能。

　　5. 冷却和存储：在回收和处理过程中，需要使用制冷系统来冷却气体，以便于压缩和储存。对于产生的冷凝水，也需要进行适当的处理。

　　6. 故障排除：在操作过程中，如果遇到设备故障，需要按照相应的故障排除方法进行处理，以保证设备的正常运行。

　　以上步骤和方法可以帮助有效地回收和处理SF6气体，减少对环境的影响，并确保电气设备的安全和可靠运行。